Im Zeitalter von Industrie 4.0 steigen die Anforderungen an die Prozesssicherheit und -reproduzierbarkeit stetig. Zum Beispiel in der Automobil- und Elektronikbranche oder in der Medizintechnik sind die Sicherstellung von Produktionsschritten und deren Rückverfolgbarkeit wichtige Dokumentationsbausteine. Dies gilt auch für auch für die Plasma-Oberflächenbehandlung, bei der eine Vielzahl von Steuerungs-, Regelungs- und Überwachungsfunktionen zur Verfügung gestellt werden, um eine gleichbleibend hohe Qualität und Reproduzierbarkeit der Oberflächenbehandlung sicherzustellen.

Ein wichtiges Kriterium bei der Oberflächenbehandlung mit Plasma ist die Prüfung, inwieweit keine sichtbaren Spuren auf dem Substrat hinterlassen wurden. Wie beurteilt man also das Ergebnis der Behandlung? Hilfsgrössen, wie die rein visuelle Betrachtung des Plasmastrahls zum Beispiel in Bezug auf seine Farbe, reichen nicht aus, um die Qualität der Behandlung ganzheitlich beurteilen zu können.

Deshalb ist es notwendig, die entscheidenden Parameter für einen sicheren Prozess kontinuierlich im Griff zu haben. Unterschiedliche Überwachungsmodule messen beispielsweise Strom- und Spannungswerte direkt am Düsenkopf. Andere Kontrollmodule weisen durchgehend die Erzeugung des Plasmas nach. Zusätzlich wird die Durchflussrate des Prozessgases an die Gegebenheiten kontinuierlich angepasst. Weitere Funktionen prüfen den Düsenrückstaudruck und überwachen die Düsenkopfdrehung. So werden nicht nur Produktionsdaten, sondern auch Daten zur vorbeugenden Wartung kontinuierlich erfasst und unterstützen eine reibungslose Produktion. Somit kann gewährleistet werden, dass jedes Bauteil in einem Prozess mit der gleichen Plasmaintensität behandelt und in allen Fertigungslinien die gleiche Qualität erreicht wird.

Anwender können sich also auf eine datengestützte Qualitätssicherung in Echtzeit verlassen. Optional können die Prozessdaten gespeichert werden und stehen für eine spätere Auswertung und Rückverfolgung zur Verfügung. Dank dieser umfassenden Steuerung, Regelung und Überwachung der Plasmabehandlung ist eine 100%ige Prozesskontrolle sichergestellt.